二次离子质谱仪(SIMS)

SIMS: 表面分析与得到分子表面官能基活性的影像 :

意即SIMS仪器拥有表面分析仪基本的分析功能

二次离子质谱法

二次离子质谱法是指当初级离子束(Ar+，O2+，N2+, O-， F-，N -或Cs+等) 轰击固体试样表面时，它可以从表面溅射出各种类型的二次离子，利用离子在电场，磁场或自由空 间中的运动规律，通过质量分析器，可以使不同质荷比的 离子分开，经分别计数后可得到二次离子强度-质荷比关系曲线的分析方法

二次离子：指离子束轰击表面，从表面溅射的新产生的离子

具有以下优点：

1. 可以实现对元素周期表中几乎所有元素的分析；
2. 可以检测不易挥发和热稳定性差的化合物；
3. 可以实现对被分析物表面的逐层纵向剖析；
4. 在超高真空条件下对化合物进行分析，确保化合物表面成分分析结果的真实性；
5. 可以实现对同位素的分析；
6. 具有超高的检测灵敏度。